ASML当地时间3日宣布，芯片解密其位于德国柏林的工厂于2日晚间发生火灾，大火在夜间被扑灭，无人受伤，目前就损害或是否会影响其生产计划发表声明还为时过早，公司计划花几天时间进行调查并做出全面评估。

据悉，芯片解密ASML柏林工厂为ASML的光刻系统生产组件，包括晶圆工作台和夹具，十字线卡盘和镜像块。